因此，我們可以根據(jù)光電子的結(jié)合能定性分析物質(zhì)的元素種類，XPS定性分析元素的化學(xué)態(tài)與分子結(jié)構(gòu)，基本原理：原子因所處化學(xué)環(huán)境不同，其內(nèi)殼層電子結(jié)合能會發(fā)生變化，這種變化在譜圖上表現(xiàn)為譜峰的位移（化學(xué)位移），對于對某一固體試樣中兩個元素i和j，如已知它們的靈敏度因子Si和Sj，并測出各自特定譜線強(qiáng)度Ii和Ij，則它們的原子濃度之比為：ni:nj=(Ii/Si)：(Ij/Sj），因此可以求得相對含量。

針對上述復(fù)雜圖譜，常規(guī)擬合方法較難取得好的擬合效果，而采用Avantage軟件中獨有的NLLSF擬合功能可得到較好的擬合結(jié)果，下面我們來講解一下如何進(jìn)行擬合，例如，對于此電容器樣品，要想進(jìn)行NLLFS擬合，我們需要獲得純Co(OH)2的窄掃參考譜圖，即沒有Ni(OH)2俄歇峰干擾的譜圖；Ni(OH)2在Co元素結(jié)合能范圍段（770~820ev）的俄歇參考譜圖，即不含Co(OH)2干擾的譜圖，如下圖2。

當(dāng)用XPS測量絕緣體或者半導(dǎo)體時，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測量的結(jié)合能偏離真實值，造成測試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。