因此，我們可以根據光電子的結合能定性分析物質的元素種類，XPS定性分析元素的化學態與分子結構，基本原理：原子因所處化學環境不同，其內殼層電子結合能會發生變化，這種變化在譜圖上表現為譜峰的位移（化學位移），對于對某一固體試樣中兩個元素i和j，如已知它們的靈敏度因子Si和Sj，并測出各自特定譜線強度Ii和Ij，則它們的原子濃度之比為：ni:nj=(Ii/Si)：(Ij/Sj），因此可以求得相對含量。

此外，EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態，且EDS的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數據分析不大準，答：不少人說XPS分析不準，其實很多時候，不是儀器原因，而是我們的知識儲備影響著我們的判斷，與右邊標準譜圖對比，很右邊是衛星峰，而左圖直接標示為Ni(OH)2和NiO。

當用XPS測量絕緣體或者半導體時，由于光電子的連續發射而得不到電子補充，使得樣品表面出現電子虧損，這種現象稱為“荷電效應”，荷電效應將使樣品表面出現一穩定的電勢Vs，對電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應將引起能量的位移，使得測量的結合能偏離真實值，造成測試結果的偏差，高分辨譜經過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學態了，或者通過反應前后樣品的高分辨譜圖對比來得到其表面電子結構的變化信息等等。